自転式スピンドライヤー(遠心乾燥機) SPD-180
特徴・用途
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です。
遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します。
主な仕様
電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
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駆動エアー | 0.3Mpa (3Kg/cm2) |
最大処理量 | 8インチ×25枚キャリア 1キャリア |
ULPAフィルタ | 有 |
イオナイザ | 有 |
制御 | PLC・インバータ |
操作部 | タッチパネル |
運転レシピ登録数 | 5種類 |
回転数 | 3,500rpm (5インチまで・6インチ以上は3,000rpm) |
モータ | インバータモータ |
寸法 | 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋開時の高さ1352(H)mm |
重量 | 110Kg |
![写真:分離板型遠心分離機ADS](images/spd180.jpg)
※他にも8インチまで対応の装置、手動機、自動機などのラインナップがございます。
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