対向式スピンドライヤー(遠心乾燥機) H-840SA
特徴・用途
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です。
遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します。
クレードル起し機構により、自動でクレードルを起します。
主な仕様
電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
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駆動エアー | 0.5Mpa (5Kg/cm2) |
最大処理量 | 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架 |
許容積載重量 | 2,000g以内(各クレードルへの積載重量) |
ULPAフィルタ | 有 |
イオナイザ | 有 |
制御 | PLC・インバータ |
操作部 | 釦スイッチ |
回転数 | 1,000rpm (常用回転数 800rpm) |
モータ | インバータモータ |
寸法 | 800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋開時の高さ1528(H)mm |
重量 | 180Kg |
![写真:分離板型遠心分離機ADS](images/h840sa.jpg)
※他にも8インチまで対応の装置、手動機、自動機などのラインナップがございます。
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